日本photoscience監(jiān)測成膜過程中樣品的反射率技術(shù)解析

該設(shè)備連接在 MBE 成膜設(shè)備上，用于監(jiān)測成膜過程中樣品的反射率。可以將半導(dǎo)體激光應(yīng)用于樣品，反射光可以通過光電二極管檢測，反射率可以在個人計(jì)算機(jī)中捕獲，并且可以實(shí)時(shí)顯示反射率的變化。另外，可以從反射率曲線評價(jià)樣品的膜厚。

2. 配置
反射率監(jiān)視器由以下單元組成。
1) 半導(dǎo)體激光器和引入系統(tǒng)
2) 參考光學(xué)監(jiān)控光學(xué)系統(tǒng)
3) 反射光聚光光學(xué)系統(tǒng)
4) 檢測器系統(tǒng)
5) 信號捕獲控制和膜厚分析軟件（筆記本電腦）
6) 外殼

3. 各部分的功能和規(guī)格
反射率監(jiān)測裝置具有以下功能和規(guī)格。

1）作為激光光源，使用輸出數(shù)mW、波長600～700nm的半導(dǎo)體激光，照射半導(dǎo)體激光和導(dǎo)入系統(tǒng)
樣品。激光的溫度控制在 25 攝氏度，以最大限度地減少波長和輸出強(qiáng)度的波動。激光束由光學(xué)系統(tǒng)制成平行光通量照射樣品。

2) 參考光監(jiān)測 光學(xué)系統(tǒng)
使用鏡子將參考光引入檢測系統(tǒng)，以確定樣品的反射率。該反射鏡在測量期間位于激光路徑之外，并在確定參考光強(qiáng)度時(shí)被引入路徑中。

3) 反射光聚光光學(xué)系統(tǒng)
將來自樣品的反射光聚光并聚光到檢測系統(tǒng)中。

4) 檢測系統(tǒng)
來自樣品的反射光和參考光強(qiáng)度由光電二極管接收和檢測。

5) 信號采集控制和膜厚分析軟件（筆記本電腦）
檢測系統(tǒng)檢測到的信號通過USB線在筆記本電腦中放大捕捉。將捕獲的信號與參考光進(jìn)行比較，并將其相對于時(shí)間軸繪制為反射率。實(shí)時(shí)顯示反射率曲線。可以從獲得的反射率曲線評估當(dāng)前的膜壓力。

6) 外殼
本裝置安裝在MBE成膜裝置的下法蘭上，裝卸方便。烘烤 MBE 主機(jī)時(shí)，無需拆下 MBE 主機(jī)法蘭即可從外部拆下此監(jiān)控裝置。