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lintec直接汽化法的基本原理及產(chǎn)品特點(diǎn)分析
使用液體質(zhì)量流量計進(jìn)行質(zhì)量測量,并通過汽化器內(nèi)置的控制閥將具有流量控制的液體連續(xù)引入汽化室。 在汽化室中,液體瞬間汽化。 質(zhì)量控制是液體,但如果瞬間汽化,汽化后的氣體質(zhì)量是一樣的,所以如果是可以瞬間連續(xù)汽化的汽化器,液體主的質(zhì)量流量=蒸發(fā)器出口處的氣體質(zhì)量流量。
由于汽化濃度的元素由MFC直接控制,因此具有優(yōu)異的穩(wěn)定性,可實現(xiàn)高濃度汽化,難以鼓泡。
熱控制點(diǎn)少
由于流量直接控制,因此具有出色的精度和穩(wěn)定性
即使在減壓和常壓條件下也可以提供汽化
能夠汽化和供應(yīng)大流量
一種蒸發(fā)器,用于加熱流量控制的液體和載氣,以降低液化氣的分壓比并提供穩(wěn)定的汽化供應(yīng)。
迷你蒸發(fā)器 VU-206
最大 H2O 汽化量:0.5 克/分鐘
最大TEOS汽化:0.7克/分鐘
最高加熱溫度:160°C
高效蒸發(fā)器 VU-430
最大 H2O 汽化量:1.0 克/分鐘
最大TEOS汽化:10克/分鐘
最高加熱溫度:200°C
高效蒸發(fā)器 VU-450
最大 H2O 汽化量:5g/min
最大TEOS汽化:20克/分鐘
最高加熱溫度:200°C
高溫高效汽化器 VU-550
最大 H2O 汽化量:5g/min
最大TEOS汽化:20克/分鐘
最高加熱溫度:300°C
高效蒸發(fā)器 VU-440
最大 H2O 汽化量:5g/min
最大TEOS汽化:30克/分鐘
最高加熱溫度:200°C
高溫高效大流量汽化器 VU-462
最大 H2O 汽化量:15g/min
最大TEOS汽化:50克/分鐘
最高加熱溫度:300°C
輕接觸式蒸發(fā)器 VU-900
最大 H2O 汽化量:7g/min
最高加熱溫度:200°C
石英汽化器 QV-1000
最大 H2O 汽化量:15g/min
最高加熱溫度:200°C
一種無載體非載體汽化器,可實現(xiàn)連續(xù)汽化,壓力波動很小。
低流量非載波蒸發(fā)器 VU-3100
最大TEOS汽化:5克/分鐘
最高加熱溫度:150°C
非載氣蒸發(fā)器 VU-3000
最大 H2O 汽化量:5g/min
最高加熱溫度:200°C
液體汽化供應(yīng)裝置
溫度控制單元
加熱過濾器
文丘里效應(yīng)發(fā)生在具有液體流量控制和載氣噴嘴的雙流體噴嘴上。 通過將液滴噴射到正下方的汽化室中,我們實現(xiàn)了穩(wěn)定和連續(xù)的液體供應(yīng)到汽化室,即使在微小的流速下也會變成液滴。 通過接觸來自汽化室和汽化室側(cè)面的輻射熱,可以高效地蒸發(fā)小型化霧。
微訂單微流量控制非常精細(xì)。 因此,對于調(diào)節(jié)流量的控制閥,需要可以精細(xì)設(shè)置的壓電陶瓷促動器,并且需要從控制單元到汽化室的死體積較小的控制閥。
對于CVD和ALD,有許多汽化和供應(yīng)沸點(diǎn)為200°C或更高的有機(jī)金屬化合物以及低蒸氣壓的要求。 林泰開發(fā)了一種兼具可維護(hù)性和耐熱性的蒸發(fā)器,采用Au密封和隔熱結(jié)構(gòu)。
汽化器的壽命在很大程度上取決于材料的物理性質(zhì)和純度。 因此,根據(jù)汽化原料的不同,需要定期維護(hù)。 它在設(shè)計時考慮了Lintec的蒸發(fā)器可維護(hù)性,以降低維護(hù)成本。
本產(chǎn)品在汽化室附近有一個液體流量控制閥。 根據(jù)液體質(zhì)量流量計的流量信號控制緊鄰汽化器的控制閥。 由于引入汽化室的流速受到控制,因此死體積小,汽化響應(yīng)也得到改善。
通過在汽化室附近安裝多個液體流量控制閥,可以同時或交替地將單獨(dú)的液體引入汽化室并蒸發(fā)。
這是一種汽化器,不會在汽化室附近安裝液體流量控制閥。 它可以與您現(xiàn)有的液體流量控制器或不需要C.F.的科里奧利液體質(zhì)量流量控制器一起使用。
為了最大限度地發(fā)揮輻射熱的效果,我們通過使汽化室長而具有的結(jié)構(gòu),實現(xiàn)了大流量汽化。
緊湊型蒸發(fā)器,表面間距為 78 mm。 節(jié)省空間的設(shè)計,即使與質(zhì)量流量計串聯(lián)使用,表面間距也為 203 mm。
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