您好,歡迎來(lái)到秋山科技(東莞)有限公司!
Product center
晶圓拋光晶片拋光過(guò)程中旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)的平面度檢測(cè)設(shè)備推薦
在半導(dǎo)體制造設(shè)備的晶片拋光過(guò)程中,需要保持裝有晶片的上板和鋪有拋光布的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)(下板)的平面度。如果出現(xiàn)問(wèn)題,晶圓就會(huì)厚度不均勻,不平整,無(wú)法進(jìn)行均勻的拋光。此外,曝光期間圖像也會(huì)失焦。
晶圓的平整度對(duì)于后續(xù)的曝光工藝至關(guān)重要,因此在拋光過(guò)程中必須保持平整。
我們的數(shù)字水準(zhǔn)儀用于保證上下平臺(tái)的平整度。
相關(guān)產(chǎn)品
SELN-001B
SELN-121BM(國(guó)內(nèi)版)
SELN-131BM(海外版)
SELN-011B
在垂直距離較窄的地方進(jìn)行水平觀察也可以!
物品 | 內(nèi)容 | |
---|---|---|
傳感器部分 | 線性角 | X方向±0.3度 Y方向±0.3度 |
測(cè)量分辨率 | 0.0002度 | |
零點(diǎn)重復(fù)性 | ±0.001度或更小 | |
響應(yīng)速度 | 50 毫秒或更短 | |
工作溫度 | -10℃~+50℃ | |
主體 | 微電腦 | 32位 |
模數(shù)部分 | 14位 | |
測(cè)量范圍 | ±0.3度 | |
A/D分辨率 | 0.000025度 | |
顯示單元 | 0.0001度 | |
通過(guò)范圍設(shè)定范圍 | 0.0001度 | |
量程切換 | 0.01/ 0.001/ 0.0001 | |
超過(guò)顯示 | 0.3度以上 | |
功能 | 傳感器連接數(shù) | 1通道 |
顯示部分 | 4.3英寸彩色液晶觸摸屏 | |
480×272點(diǎn) | ||
電源 | 專用AC適配器DC6V/2A | |
4 節(jié) AA 電池(1.5V) | ||
外形尺寸 | 監(jiān)視器 | 寬96×深36×高145毫米 |
傳感器(SUS底座) | φ50×H19毫米 | |
電纜 | 2米 | |
重量 | 監(jiān)視器 | 392克 |
傳感器 | 70克 | |
配件 | 4 節(jié) AAA 電池(1.5V) | |
專用AC適配器DC6V/2A | ||
操作說(shuō)明 | ||