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日本ace半導(dǎo)體自動調(diào)節(jié)壓力控制器

日本ace半導(dǎo)體自動調(diào)節(jié)壓力控制器

產(chǎn)品型號： AP160M

所屬分類：壓力控制器

產(chǎn)品時間：2024-09-10

簡要描述：日本ace半導(dǎo)體自動調(diào)節(jié)壓力控制器AP160M
AP160M是一種控制器，可根據(jù)半導(dǎo)體制造過程中使用的氣體，通過自動控制比例電磁閥的開度來自動調(diào)節(jié)管道中的壓力。由于它具有內(nèi)置壓力傳感器，因此無需添加外部傳感器。

詳細(xì)說明：

日本ace半導(dǎo)體自動調(diào)節(jié)壓力控制器AP160M

半導(dǎo)體自動調(diào)節(jié)器非常適合從低真空到高真空的真空工藝設(shè)備

AP160M是一種控制器，可根據(jù)半導(dǎo)體制造過程中使用的氣體，通過自動控制比例電磁閥的開度來自動調(diào)節(jié)管道中的壓力。由于它具有內(nèi)置壓力傳感器，因此無需添加外部傳感器。

最大控制壓力約為650kPa，最大控制流速為100kPa壓差，有兩種接觸類型，即500cc / min和3000cc / min。通過通過脈沖寬度調(diào)制來控制比例電磁閥，AP160M模型可以提高響應(yīng)度并消除滯后現(xiàn)象，因此可以在大約1秒鐘內(nèi)達到設(shè)定壓力。

壓力b型接頭是1/4“ VCR等效產(chǎn)品，氣體接觸部分和壓力傳感器均由金屬制成，并且與惰性氣體，腐蝕性氣體，危險氣體等所有氣體兼容。除了半導(dǎo)體工藝氣體以外，也是可能的。

日本ace半導(dǎo)體自動調(diào)節(jié)壓力控制器AP160M

規(guī)格

模型AP160M
主要用途對于半導(dǎo)體
目標(biāo)氣體半導(dǎo)體工藝氣體就座氣體
入口壓力500kPa以下
耐壓小于1000kPa
壓力設(shè)定需要計算機等輸入的壓力設(shè)定值
控制方式比例電磁紙漿批發(fā)
控制壓力0-500kPa
最大流量當(dāng)壓差為100 kPa時，有兩種類型，即500 cc / min和3000 cc / min。
響應(yīng)時間1秒鐘達到設(shè)定值
輸入信號0 ?? 5VDC連續(xù)/關(guān)閉
R485
外部傳感器輸入（4 ?? 20A可能）
輸出信號報警輸出RS485.0-5VDC
管件1/4〃VCR等效
閥座泄漏10-6Pa ? m3 /秒以下
準(zhǔn)確性±5kPa（在800kPaFS時）
電源電壓24VDC±10％
目前的消費200mA以下
工作溫度0-50℃無凝結(jié)
面之間的外部尺寸寬36×深46×高60mm
壓力傳感器是（內(nèi)置）
顯示設(shè)定裝置沒有裝備

 

 


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